AlGaN基紫外分布式布拉格反射镜的结构优化

采用传统的相关性分析方法, 结合光学传输矩阵理论为基础的商用膜系设计软件, 对紫外波段(中心波长314 nm)AlGaN基布拉格反射镜的反射光谱进行了一系列模拟, 研究了部分结构参数与反射率、中心波长的相关性及相关系数。理论分析结果表明：在保持周期厚度不变的情况下, 分层厚度, 尤其是AlGaN分层厚度的变化对最终反射率和中心波长的影响最大, 且为负相关, 并借此优化得到具有较高反射率、较宽探测波段的紫外AlGaN基布拉格反射镜结构参数。相关性分析和优化结果与实际相符, 为紫外AlGaN基布拉格反射镜的设计和应用提供了新的思路和研究手段。