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纳米复合超硬薄膜的制备、性能及其工业应用,马胜利,马大衍,本文分别用直流、脉冲直流和微波等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术得到了Ti-Si-N、Ti-B-N及Ti-Al-Si-N纳米复合超硬薄膜,结合微观分析
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weixin_38609128
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