没有合适的资源?快使用搜索试试~ 我知道了~
退火
0 下载量 29 浏览量
2020-12-09
14:10:51
上传
评论
收藏 39KB PDF 举报
温馨提示
试读
1页
退火:也叫热处理,集成电路工艺中所有的在氮气等不活泼气氛中进行的热处理过程都可以称为退火。根据注入的杂质数量不同,退火温度一般在450~950℃之间。 激活杂质:使不在晶格位置上的离子运动到晶格位置,以便具有电活性,产生自由载流子,起到激活杂质的作用消除损伤 退火方式:炉退火,可能产生横向扩散!快速退火:脉冲激光法、扫描电子束、连续波激光、非相干宽带频光源(如卤光灯、电弧灯、石墨加热器、红外设备等)1.2.4 制膜 (制作各种材料的薄膜)氧化:制备SiO2层SiO2的性质及其作用SiO2是一种十分理想的电绝缘材料,它的化学性质非常稳定,室温下它只与氢氟酸发生化学反应
资源推荐
资源评论
资源评论
weixin_38608873
- 粉丝: 6
- 资源: 982
上传资源 快速赚钱
- 我的内容管理 展开
- 我的资源 快来上传第一个资源
- 我的收益 登录查看自己的收益
- 我的积分 登录查看自己的积分
- 我的C币 登录后查看C币余额
- 我的收藏
- 我的下载
- 下载帮助
安全验证
文档复制为VIP权益,开通VIP直接复制
信息提交成功