提出了一种有效的分析二元光学元件衍射效率的新方法逐层分析法,并对四台阶二元器件,就蚀刻深度误差和横向对准误差对器件衍射效率的影响进行了详细的分析和讨论,证明用该方法分析含有横向对准误差的二元光学元件的衍射效率非常简便有效。
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