扫频光源OCT对单晶硅片制绒质量的检测

光学相干层析（OCT）是一种新型的光学信号获取与处理方式，它可以对光学散射介质进行扫描，获得的三维图像，分辨率可以达到微米级。尝试利用扫频光源OCT对在相同的制绒溶液配比下，不同制绒时间的单晶硅片进行检测，通过处理三维图像数据，判断制绒质量，为单晶硅制绒检测提供一种新方法。