脉冲CO

采用脉冲TEA CO2激光诱发SiH4+CH4等离子体化学气相反应，合成了粒度分布均匀的纳米SiC球型陶瓷粉末，采用傅里叶红外光谱、X射线衍射、元素分析、透射电子显微镜等多种技术对粉末性能进行了分析，利用光学发射谱技术对反应过程进行了初步研究。