本文测量了砷离子(As~+)注入的Si在连续CO2激光辐照下光的椭圆偏振参数、反射率、表面薄层电阻率随时间的变化。从ψ、△、R、ρ的变化看出Si注入层的激光退火是在一定的时间、温度条件下迅速完成的。
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