金刚石薄膜质量的红外光谱判断技术

给出了利用红外透射光谱计算金刚石薄膜中SP2/SP3键价比,从而判断金刚石薄膜质量的判断技术。这种方法给出了薄膜质量的定量判断,甚至当由于灵敏度限制拉曼光谱无法给出判断结果时这种方法仍可使用。文中给出了两个金刚石薄膜样品的计算结果并和非晶碳膜进行了比较。