干涉测量框架结构设计及稳定性分析

干涉测量的面形重复精度一定程度上依赖于测量框架结构的稳定性，从测量框架高稳定性的使用要求出发，对测量框架的机械结构进行了设计。在此基础上针对检测框架在随机振动下的稳定性问题，建立了检测框架的有限元模型，以实际测量的随机振动速度功率谱密度(PSD)为激励，运用ANSYS有限元分析软件中的随机振动分析模块，对该结构的随机振动响应进行了分析计算。通过分析计算得出测量框架在随机振动下的稳定性为0.5144 nm，实验测量出5 s内的稳定性为0.653 nm，二者基本吻合。分析表明，测量框架的结构设计以及振动环境满足稳定性的指标要求。