633 nm稳频激光器波长校准装置建立与应用

建立了633 nm 波长标准装置，已为各行各业的激光干涉仪、激光跟踪仪等测量设备提供精准的长度校准服务。采用稳频激光器波长校准的拍频原理，将测量值溯源到长度波长基准。该激光器波长校准装置包括：参考激光器、被检激光器、合束镜、光电探测器、带宽放大器、频谱分析仪、频率计以及微机数据采集系统。分析了提高检测精度的影响因素。给出了拍频实验输出结果时间频率采样图。解析了波长、频率、稳频特性等检定项目的判定依据。