基于太赫兹时域光谱的胶层厚度均匀性检测 (2014年)

太赫兹波与不同的介质相互作用，探测器在不同的时间节点检测到携带介质信息的太赫兹时域波形，分析不同时域波形峰值点的飞行时间差，分别建立了透射式和反射式太赫兹无损检测单点厚度提取模型。在柔性装配过程中，一般有机硅胶的折射率难以提取，基于单点厚度提取模型，绘制了胶层空间分布三维形貌图，并提出了采用厚度均匀性标准偏差的方法评价胶层空间分布离散性。太赫兹时域光谱技术系统分析胶层厚度的均匀性，检测精度可达100 um，对保证胶层连接强度有重要意义。