在探讨准分子激光器的高输出获得时，关键的技术点主要集中在预电离技术、放电技术以及X射线剂量的控制等几个方面。准分子激光器是一种能够产生紫外或近紫外波段激光的气体激光器，它通常工作在稀有气体与卤素化合物组成的二元混合气体中。由于其特殊的放电过程，准分子激光器在光刻、材料加工等领域具有广泛的应用。
预电离技术是准分子激光器中非常关键的一个环节。预电离是指在激光器主放电之前，先使激光工作物质部分电离，从而为后续的主放电提供初始的自由电子，以减少主放电的击穿电压并提高气体的电导率。X光预电离由于对气体内离子对产生的高效率，被证明是有效的预电离方式。预电离的X光需要有足够的能量密度，并且要均匀地分布在有效体积内，以避免产生丝状放电，这种放电现象会显著降低激光器的输出效率。预电离与主放电之间的时间同步是另一个需要精确控制的技术参数。实验表明，预电离与主放电之间存在一个最佳的时间提前值，这个值能够使激光输出能量达到最大。预电离的X光剂量对激光输出也有显著影响，激光输出能量与预电离剂量的对数在一定范围内呈现线性关系。因此，合理的剂量能够有效提高激光器的输出功率。
在放电激励技术方面，激励放电电路的设计对准分子激光器的输出功率和能量空间分布起决定性作用。文中提到的倒向电路是一种常见的激励电路形式，它通过快速倒向电容上的电荷，产生较高的电压差，从而激励主放电电极。调节电路中的电感L值，可以使放电激励能量达到最大值。此外，放电过程中电极间电压的调节也非常重要，它需要接近于电源电压的两倍，以实现高效的能量转化。
混合气体的成分对准分子激光器的输出特性也有一定的影响。不同成分的混合气体在放电过程中会有不同的电离特性和增益特性，这将直接影响激光器的输出功率和效率。因此，选择合适的混合气体成分，也是实现高输出准分子激光器的一个重要方面。
预电离技术还包括了与激光器腔体结构相配合的空间X射线分布控制。不同阴极材质的X射线管具有不同的X射线空间分布特性，例如，碳绒毡冷阴极X光管能够产生大面积的均匀X射线辐射，而石墨阴极的X射线管则能在有限的范围内产生均匀的高强度X射线辐射。通过调节X射线的输出光谱以及空间分布，可以有效控制主放电区域，进而影响激光输出。
文章中提到了相关的实验数据和测量结果，通过实验验证了预电离与主放电之间时间同步关系曲线以及激光输出能量随X射线剂量的变化曲线，这些结果为深入理解和优化准分子激光器的输出特性提供了重要的实验依据。
要获得准分子激光器的有效单位体积内高输出，需要综合考虑预电离技术、放电技术、混合气体成分和X射线剂量控制等多个关键技术问题。通过对这些关键环节的深入研究和精确控制，可以提高准分子激光器的输出功率，进而满足各种高技术领域的应用需求。
