光波干涉坐标测量仪

近几年来随着集成电路工业的发展，掩模制造和检测需要对坐标进行髙精度测量。随着从集成电路到大规模集成电路技术的进步，要求测量精度高于±0.3微米。本文先介绍有关激光干涉坐标测量仪的主要组成部分，然后概述其自动化现状。