CF4 + O-2等离子体处理后沟道刻蚀非晶铟镓锌锌薄膜晶体管的性能和稳定性改进

研究论文
0 下载量 80 浏览量 2021-03-04 12:38:56 上传 评论 收藏 706KB PDF 举报
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