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针对粗糙介质表面造成射频微机械(RFMEMS)开关隔离度衰减的问题,设计了一个双桥电容式RFMEMS开关,分别采用金属Au和Al作为开关的下电极,以SiN作为电容介质制备了样品。微波特性测量表明两种材料开关的隔离度有很大区别。利用原子力显微镜对金属Au和Al上制作的SiN介质层表面进行了测试,表面粗糙度Ra值分别为13.050nm和66.680nm,分析得到相应的关态电容减少因子分别为0.52和0.15。为获得较好的开关隔离度,介质表面粗糙度须控制在5nm以下。
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weixin_38551749
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