Ti离子注入和退火对ZnS薄膜结构和光学性质的影响

Ti离子注入和退火对ZnS薄膜结构和光学性质的影响，苏海桥，薛书文，利用真空蒸发法在石英玻璃衬底上制备了ZnS薄膜，将能量80keV，剂量1×1017ions/cm2的Ti离子注入到薄膜中，并将注入后的ZnS薄膜进行退火处�