基于稀疏矩阵的光学元件表面疵病检测

提出了一种基于稀疏矩阵的表面疵病快速拼接方法。该方法采用环形白光光源均匀地照射到被测元件表面, 光经显微散射暗场成像系统后形成暗背景下的亮疵病图像。通过对光学元件的x, y方向进行扫描, 得到子孔径拼接图像。基于稀疏矩阵和图像拼接, 对子孔径图像进行快速拼接, 得到全孔径疵病图像。基于最小外接矩形原理, 对图像疵病进行识别和分类, 最终得到7个光学元件表面疵病划痕, 其最大长、宽分别为15.2110 mm和0.0297 mm; 麻点有5个, 其最大长、宽分别为0.1089 mm和0.0967 mm。将测量得到的划痕宽度与标准划痕宽度进行对比, 得到划痕宽度的相对误差范围为-5.00%~5.50%。在此基础上, 对实际的光学表面进行检测, 得到光学元件表面疵病信息。