高体分铝基碳化硅表面镀镍钴合金非球面反射镜的光学加工

为了制造具有良好力学和热学性能的反射镜，对高体分铝基碳化硅镀镍钴合金反射镜的光学加工进行了研究；介绍了高体分铝基碳化硅SiCp/Al 的物理性能；采用不同抛光磨料和抛光模对SiCp/Al 镀镍钴合金样片进行抛光实验；在实验基础上，对SiCp/Al 表面镀镍钴合金同轴抛物面反射镜表面进行精密抛光，实现了300 mm 口径SiCp/Al 表面镀镍钴合金同轴抛物面反射镜的光学加工，其面形精度均方根值为0.027 λ ( λ =632.8 nm)，表面粗糙度Ra值优于2.1 nm。