MPCVD装置圆柱谐振腔的仿真设计 (2011年)

根据电磁场理论设计了用于微波等离子体化学气相沉积系统的TE11模圆柱谐振腔,推导了该谐振腔的电场分布,计算了圆柱腔的几何尺寸。利用电磁场仿真软件CST对圆柱腔内的电场分布进行仿真,比较分析了不同天线耦合深度以及不 同石英窗厚度对电场分布的影响。仿真优化结果表明天线耦合深度为5 mm、石英窗厚度为5 mm时腔内微波耦合良好,能够满足工业要求。实践加工证明仿真结果与真实系统实际工作状态吻合,为圆柱谐振腔微波等离子装置的研制提供了理论指导,提高了研制效率,节约了研制成本。