在光电集成领域中,为了实现高集成密度,开发纳米级光学波导是至关重要的基础元素。表面等离激元波导(Surface Plasmon Polariton, SPP)因其超紧凑尺寸而备受瞩目,能够在不遵守衍射极限的情况下工作。研究人员一直在探索各种可行的波导方案,如长程表面等离激元极化(Long Range Surface Plasmon Polaritons, LRSPP)、介质负载表面等离激元极化(Dielectric Loaded Surface Plasmon Polaritons, DLSPP)、金属-介质-金属(Metal-Insulator-Metal, MIM)以及通道表面等离激元极化(Channel Plasmon Polaritons, CPP)波导等。 在设计这些波导结构时,需要在光的限制能力和传播长度之间进行权衡。例如,在MIM波导中,可以实现非常强的光限制,但代价是更大的损耗;相反地,在其他类型波导中可能会有较好的传播长度,但光的限制能力会减弱。 文章中提出的基于混合型表面等离激元波导结构的超紧凑截线滤波器,是基于硅基的混合等离激元波导结构。这种结构只需要对一层进行图案化,便于制造。在这种结构中,光被强烈限制在一个薄的二氧化硅层中,该层位于金属衬底和硅层之间。滤波器由一个截线结构和一个直波导耦合而成。通过三维有限差分时域(3D FDTD)方法计算得到的输出光谱,与基于二维金属-绝缘体-金属(MIM)波导结构的前人文献中的那些设备类似。 另外,文章还分析了截线和波导结构尺寸对器件性能的影响。对于截线滤波器来说,其尺寸的变化会直接影响其滤波特性,例如中心波长、带宽以及传输效率。通过改变截线结构的长度、宽度或波导的宽度,可以调节滤波器的性能参数以满足不同的应用需求。 在该研究中,作者提出了一种易于制造的混合型表面等离激元波导结构,这是一种创新的方法,不仅简化了制造工艺,也提升了器件性能。该结构的实现为集成光子学领域提供了一种新的可能,有助于实现更紧凑、更高效的光子集成电路。 值得注意的是,硅基光子学正成为一个非常热门的研究领域,利用硅材料的特性来实现光电子功能,比如波导、调制器、探测器等。这种基于硅的超紧凑滤波器设计的提出,为未来硅基光子集成电路在更广范围内的应用奠定了基础,特别是在通信、传感和计算等技术领域。 该研究论文详细讨论了表面等离激元波导的基本原理和如何在硅材料中实现高效光限制。在波导结构的设计和优化过程中,对波导中的表面等离激元极化效应进行了深入研究,这将对今后的微型光子器件设计提供重要的理论和实验指导。此外,对于那些从事光子学、纳米科技、材料科学以及相关的交叉学科领域的研究者来说,本文的研究成果具有重要的参考价值。
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