基于GaAs MMIC技术的X波段电容膜MEMS微波功率传感器

本文介绍了电容膜MEMS微波功率传感器的建模，制造和测量。 该传感器测量通过MEMS膜从共面波导（CPW）传输线耦合的微波功率，然后使用热电堆将其转换为直流电压输出。 由于制造Craft.io与GaAs单片微波集成电路（MMIC）Craft.io完全兼容，因此该传感器可以方便地嵌入MMIC中。 根据测得的直流电压输出和S参数，X波段的平均灵敏度为225.43μV/ mW，而反射损耗低于-14 dB。 MEMS微波功率传感器具有良好的线性度，在整个X波段中的电压驻波比均小于1.513。 此外，使用幅度调制信号进行的测量证明，调制指数直接影响输出直流电压。 ？ 2009中国电子学会。