书书书
第
３０
卷
光
学
学
报
光学前沿———信息光学
２０１０
年
１２
月
犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃
专
刊
文章编号：
０２５３２２３９
（
２０１０
）
ｓ１００３０１
一种基于电子散斑技术的半导体器件寿命预测方法
袁纵横
宋美杰
熊显名
（桂林电子科技大学电子工程学院，广西 桂林
５４１００４
）
摘要
通过对微电子器件可靠性检测现状和电子散斑技术（
ＥＳＰＩ
）的研究，提出根据半导体器件 离面 位移变 化情 况
预测其寿命。建立了一套电子散斑测量系统，温控系统 为试 件提 供 加速 温度 应 力并 控温，同时 测 量试 件封 装 离面
位移的变化规律，根据离面位移数据提取失效激活能，并结 合 寿命 预测 模 型外 推不 同 温度 环境 下 的工 作寿 命。对
样品
Ｓ８５５０
进行了
１００ ℃
～
１９０ ℃
的序进应力加速实验，得到了各温度点的离面位移数据，并根据离面位移的变化
规律快速地提取出了失效激活能，推算了工作环境温度 为
５０ ℃
和
１００ ℃
时 该试 件的 可 靠寿 命。实 验数 据与 相 关
资料吻合，验证了该方法的可行性。
关键词
激光技术；可靠性寿命；电子散斑；离面位移
中图分类号
ＴＮ２４７
文献标识码
Ａ
犱狅犻
：
１０．３７８８
／
犃犗犛２０１０３０．狊１００３０１
犃 犕犲狋犺狅犱犳狅狉犈狏犪犾狌犪狋犻狀
犵
犔犻犳犲犜犻犿犲狅犳犛犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉犇犲狏犻犮犲
犅犪狊犲犱狅狀犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮犛
狆
犲犮犽犾犲犘犪狋狋犲狉狀犐狀狋犲狉犳犲狉犲狀犮犲
犢狌犪狀犣狅狀
犵
犺犲狀
犵
犛狅狀
犵
犕犲犻
犼
犻犲
犡犻狅狀
犵
犡犻犪狀犿犻狀
犵
（
犛犮犺狅狅犾狅
犳
犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮犈狀
犵
犻狀犲犲狉犻狀
犵
，
犌狌犻犾犻狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋
狔
狅
犳
犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮犜犲犮犺狀狅犾狅
犵狔
，
犌狌犻犾犻狀
，
犌狌犪狀
犵
狓犻
５４１００４
犮犺犻狀犪
）
犃犫狊狋狉犪犮狋
犅犪狊犲犱狅狀狋犺犲狉犲狊犲犪狉犮犺狅犳狋犺犲犪犮狋狌犪犾犻狋
狔
狑犻狋犺犿犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犱犲狏犻犮犲狉犲犾犻犪犫犻犾犻狋
狔
狋犲狊狋犻狀
犵
犪狀犱犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊
狆
犲犮犽犾犲
狆
犪狋狋犲狉狀犻狀狋犲狉犳犲狉狅犿犲狋犲狉
（
犈犛犘犐
），
犪犿犲狋犺狅犱狋犺犪狋
狆
狉犲犱犻犮狋狊狋犺犲狊
狆
犲犮犻犿犲狀犾犻犳犲狋犻犿犲犪犮犮狅狉犱犻狀
犵
狋狅狋犺犲犮犺犪狀
犵
犲狅犳狅狌狋狅犳
狆
犾犪狀犲
犱犻狊
狆
犾犪犮犲犿犲狀狋狅犳
狆
犪犮犽犻狀
犵
犻狊
狆
狉犲狊犲狀狋犲犱．犐狀狋犺犲犿犲狋犺狅犱
，
狋犲犿
狆
犲狉犪狋狌狉犲犮狅狀狋狉狅犾狊
狔
狊狋犲犿犻狊狌狊犲犱狋狅
狆
狉狅狏犻犱犲狋犺犲犮狅狀犱犻狋犻狅狀狅犳
犪犮犮犲犾犲狉犪狋犲犱狋犲犿
狆
犲狉犪狋狌狉犲狊狋狉犲狊狊
，
犪狀犱狋犺犲 狑狅狉犽犻狀
犵
犾犻犳犲狋犻犿犲狅犳狊
狆
犲犮犻犿犲狀犪狋狀狅狉犿犪犾狋犲犿
狆
犲狉犪狋狌狉犲犻狊犲狊狋犻犿犪狋犲犱犫
狔
狋犺犲
犪犮狋犻狏犪狋犻狅狀犲狀犲狉
犵狔
狅犳狊
狆
犲犮犻犿犲狀犲狓狋狉犪犮狋犲犱犪犮犮狅狉犱犻狀
犵
狋狅狅狌狋狅犳
狆
犾犪狀犲犱犻狊
狆
犾犪犮犲犿犲狀狋犾犪狑．犠犺犲狀狋犺犲狊
狆
犲犮犻犿犲狀狊犛８５５０犪狉犲
犵
犻狏犲狀狋犺犲狋犲犿
狆
犲狉犪狋狌狉犲狉犪狀
犵
犲犳狉狅犿 １００ ℃ 狋狅１９０ ℃
，
狋犺犲 狊
狆
犲犮犽犾犲犻狀狋犲狉犳犲狉犲狀犮犲狊狋狉犻
狆
犲狊犪狉犲 犮狅犾犾犲犮狋犲犱 犪狋犲狏犲狉
狔
狋犲犿
狆
犲狉犪狋狌狉犲
狆
狅犻狀狋狊．犜犺犲狀狋犺犲犪犮狋犻狏犪狋犻狅狀犲狀犲狉
犵狔
狅犳狊
狆
犲犮犻犿犲狀犻狊犲狓狋狉犪犮狋犲犱狉犪
狆
犻犱犾
狔
，
犪狀犱狋犺犲 狑狅狉犽犻狀
犵
犾犻犳犲狋犻犿犲狅犳狋犺犲
狊
狆
犲犮犻犿犲狀犪狋狋犲犿
狆
犲狉犪狋狌狉犲狅犳
５０ ℃ 犪狀犱１００ ℃ 犻狊狅犫狋犪犻狀犲犱．犜犺犲犲狓
狆
犲狉犻犿犲狀狋犪犾狉犲狊狌犾狋狊犪
犵
狉犲犲狑犻狋犺狋犺犲犱犪狋犪犻狀狉犲犳犲狉犲狀犮犲狊
狑犲犾犾
，
狑犺犻犮犺犱犲犿狅狀狊狋狉犪狋犲狊狋犺犲犳犲犪狊犻犫犻犾犻狋
狔
狅犳狋犺犲
狆
狉狅
狆
狅狊犲犱犿犲狋犺狅犱．
犓犲
狔
狑狅狉犱狊
犾犪狊犲狉狋犲犮犺狀犻
狇
狌犲
；
狉犲犾犻犪犫犻犾犻狋
狔
犾犻犳犲狋犻犿犲
；
犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犪
狆
犲犮犽犾犲
狆
犪狋狋犲狉狀犻狀狋犲狉犳犲狉犲狀犮犲
；
狅狌狋狅犳
狆
犾犪狀犲犱犻狊
狆
犾犪犮犲犿犲狀狋
犗犆犐犛犮狅犱犲狊
１２０．４２９０
；
０７０．６０２０
；
０４０．１８８０
；
０３０．６１４０
收稿日期：
２０１００６０８
；收到修改稿日期：
２０１００７０９
基金项目：广西科学技术厅基金（桂科基
０７３１０１７
）资助课题。
作者简介：袁纵横（
１９５７
—），男，博士，教授，主要从事光电测量、光纤传感和光通信等方面的研究。
Ｅｍａｉｌ
：
ｙ
ｕａｎｚｏｎ
ｇ
ｈｅｎ
ｇ
＠
ｓｉｎａ．ｃｏｍ
１
引
言
随着微电子 器件寿命和 热可靠性的 不断提高，
可靠性检测的难度 也不断加 大，因此找 出 能够快速
评价其可靠寿命的 方法，是 微 电子业急 需 解决的问
题
［
１
］
。目前普遍采用加速寿命实验方法预估微电子
器件的可靠寿命，不同国家 分 别制定了 不 同的实验
标准
，但这些方法普遍存在实验时间长，所需实验样
品数多、成本 高 的缺点
［
２
］
。近 年 来国内外 一 些 学 者
利用光学测量技术无损
、精度高的优点，从热应力变
形 角 度 对 半 导 体 器 件 的 可 靠 性 进 行 了 初 步 研
究
［
３
，
４
］
。但这些研究大 都停留在 对 封装的热 变 形和
热应力分析上，没有对其可靠性寿命进行深入研究，
缺乏一个集检测及可靠性寿命预测于一体的完善系
统
。本文搭建 了 一 套 基 于 电 子 散 斑 （
ＥＳＰＩ
）技 术 的
测量系统，通过测量试件 封 装离面位 移 的变化规 律
来预测器件寿 命，得 到 了 较 完 整 的 可 靠 寿 命 数 据。
ｓ１００３０１１
资源评论
weixin_38529251
- 粉丝: 6
- 资源: 883
最新资源
- 使用CSS `overflow` 属性打造完美圣诞树
- 【Unity 机甲战斗插件】Mech Combat Kit 提供了完整的机甲控制、武器系统、敌人AI、物理系统及其他战斗相关功能
- 圣诞树快乐跳一跳 噢耶哈哈哈
- 【Unity遮挡剔除插件】Perfect Culling Occlusion Culling System 显著优化渲染性能
- 永磁同步电机 FOC算法电流环+速度环框架，本例中给id，iq反馈电流加了一小段延时，模拟电流采样的延时
- 【Unity语音插件】Dissonance Voice Chat 强大而灵活的实时语音通信解决方案
- 新手改善Java程序的151个建议 优化程序 良好习惯
- api-ms-win-core-path-l1-1-0.dll
- 响应式圣诞树：使用CSS的`max-width`和`min-width`属性
- 考研复试的面试中英文自我介绍及问答
资源上传下载、课程学习等过程中有任何疑问或建议，欢迎提出宝贵意见哦~我们会及时处理！
点击此处反馈
