两非球面反射镜非扫描式软X射线投影光刻系统

提出一个软X射线投影光刻、缩比为61、由两非球面镜构成的光学系统。该系统在波长为13 nm时,可获得<30 mm的平像场和优于0.1 μm的光刻线条分辨率,其最大畸变为0.4%。