螺旋波等离子体发射光谱研究 (2014年)

为了解螺旋波等离子体的光学行为及特性，对螺旋波等离子体氩气放电进行了发射光谱(OES)测量，结果显示：谱线强度在模式转换时出现大幅增加。研究了不同气压下谱线强度随功率的变化关系，并采用发射光谱强度比值法对电子激发温度进行了计算，结果表明：在螺旋波放电阶段对应的电子激发温度随着功率增加呈下降趋势。