离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术
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书书书
第
３３
卷
第
１２
期
光
学
学
报
Ｖｏｌ．３３
，
Ｎｏ．１２
２０１３
年
１２
月
犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃
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，
２０１３
离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术
王
超
１
，
２
张
新
１
王灵杰
１
张建萍
１
张继真
１
１
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室，吉林 长春
１３００３３
２
中国科学院大学，北京
（ ）
１０００４９
摘要
针对离轴自由曲面三镜反射系统，采用了基准传递技术和计算机辅助装调 技术 相结合 的装 调方法。 基准传
递过程中基于计算全息建立了一套完整、精确的空间基准来保证初装调质量；在此 基础上，计算 机辅 助装调 过程 中
采用自准干涉检验法获得多个视场干涉图，像差用方形域 上正 交修正 泽尼 克多项 式系 数表 征，利 用
Ｚｅｍａｘ
软 件和
方形域上正交修正泽尼克多项式得到系统的灵敏度矩 阵，求 解 失调 量；在 多 次迭 代后 得 到系 统平 均 波像 差均 方 根
值为
０．１６４１
λ
（
λ
＝６３２．８ｎｍ
），调制传递函数平均值为
０．４５３４
。
关键词
光学设计；离轴自由曲面；装调基准；计算全息；计算机辅助装调；修正泽尼克多项式
中图分类号
Ｖ２４８．３
文献标识码
Ａ
犱狅犻
：
１０．３７８８
／
犃犗犛２０１３３３．１２０８００１
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０８０．１００５
；
０８０．４２２８
收稿日期：
２０１３０５０８
；收到修改稿日期：
２０１３０６２７
基金项目：国家自然科学基金青年科学基金（
６１００７００９
）
作者简介：王
超（
１９８６
—），男，博士研究生，主要从事光学系统设计和成像超分辨方面的研究。
Ｅｍａｉｌ
：
ｗａｎ
ｇ
ｃｈａｏ３２０５０６０９
＠
１６３．ｃｏｍ
导师简介：张
新（
１９６８
—），男，博士，研究员，主要从事非常规复杂光学系统设计方面的研究。
Ｅｍａｉｌ
：
ｚｈａｎ
ｇ
ｘｉｎ
＠
１２６．ｃｏｍ
１
引
言
三镜消像散系 统（
ＴＭＡ
）是 当 前 大 视 场 空 间 光
学系统的常用光学方案之一，但随着对幅宽的追求，
要求光学系统的视 场不断增 加，与视场 相 关的轴外
像差逐渐占据主 导 地位，尤 其 是轴外高 级 像差。目
前空间相机采用的同轴三反或离轴三反光学系统中
１２０８００１１
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