Xe离子注入后聚酰亚胺结构与电学性质的变化 (2013年)

用Xe离子注入聚酰亚胺改变其电学性能.采用高阻测试仪及霍耳效应测量仪测定了注入后样品的表面电阻率随剂量以及温度的变化,用Mott方程对电阻率-温度曲线进行了拟合,最后用卢瑟福背散射等实验手段对其结构变化进行了研究.结果表明,注入后样品的表面电阻率大幅降低,且在注入剂量为50 P. ions/cm2时达到最小,Mott方程拟合结果表明样品的注入层是三维的导电层.