超短脉冲激光微焊接玻璃进展

近年来，随着元器件不断小型化及人们对产品高密度、高可靠性要求的提高，有效的微连接已成为微加工的重要环节之一。虽然目前已有多种方法可以实现同种材料或异种材料间的微连接，但对于玻璃等透明易碎材料，实现有效的微连接一直是一个挑战。目前激光已被广泛应用于焊接各种材料，但普通长脉冲激光的能量不易被玻璃吸收而且热膨胀易使玻璃碎裂，并不适合微焊接玻璃等透明材料。超短脉冲激光与透明材料相互作用具有热效应小及非线性吸收的特点，非常适合透明材料的微焊接，目前已经成为微加工领域的研究热点。介绍了超短脉冲激光微焊接玻璃的机理、存在的问题以及潜在应用，并对其未来发展进行了展望。