用于半导体器件的激光诊断和光化学处理

微电子学现正处于材料革命的阶段，超大规模集成电路所必需的超精细分辨、高可靠性、纷繁复杂的布局及器件设计的要求，正在迫使电子材料专家转向新的材料系统和新的加工工艺。