太阳能硅片移送用三自由度机械手的设计

太阳能硅片移送用三自由度机械手的设计，张野，程树康，为提高太阳能硅片生产过程中硅片的移送效率，介绍一种太阳能硅片移送用三自由度机械手。方案中采用PLC控制三台步进电动机，以此实