本文结合北京大学微系统所的MEMS标准工艺,以一个MEMS中最主要的结构——梁为例介绍一下MEMS表面加工工艺的具体流程。
评论星级较低,若资源使用遇到问题可联系上传者,3个工作日内问题未解决可申请退款~