熔融石英光学器件中CO2激光引起的残余应力的定量测量

用特定的光弹性方法研究了连续波CO 2激光辐照引起的熔融石英的残余应力场。 定量测量辐照区中的环向应力和轴向应力。 对于沿径向的环向应力，最大相位延迟为30 nm，出现在激光畸变区域的边界（距中心680μm的距离）处，并且相位延迟快速且线性地向内减小，并且缓慢且呈指数地减小。向外。 对于轴向应力，拉伸应力位于薄的表层（<280μm）中，而压缩应力位于拉伸区的正下方。 拉应力和压应力都首先沿深度方向增加，然后减小。 由轴向拉伸应力引起的最大相位延迟为150nm，并且由轴向压缩应力引起的最大相位延迟为约75nm。 另外，还讨论了最大轴向应力与激光照射区的变形高度之间的关系。