SOI大截面单模脊形X型分支波导的研制

报道了硅片直接键合(SDB)SOI大截面单模脊形互型分支波导的研制.对于波长为1.3 μm的光,在θ=2°小分支角时,这种分支波导的通道串音小于-20 dB,辐射损耗小于0.3 dB.直通传输损耗小于0.85 dB/cm.