真空中微机械谐振器件挤压膜阻尼的分子动力学仿真

真空中微机械谐振器件挤压膜阻尼的分子动力学仿真，高流，李普，挤压膜气体阻尼是微机械谐振器件的重要能量耗散因素。目前，为了减小这种阻尼，很多微机械谐振器件都封装在真空中。然而，当气压