9点促动变形镜性能测试及在空间相机中的应用研究

针对空间相机像差特点设计了校正低阶像差的9点促动变形反射镜，变形镜能够产生离焦、像散和彗差。对变形镜进行测试，结果表明变形镜在0.5 h间隔中的静态特性达到0.02λ（λ=632.8 nm），促动器控制面形的重复性精度达到0.01λ。采用4D干涉仪的Burst检测功能检测了变形镜的动态响应特性，其响应频率高于28Hz。应用变形镜为折叠镜，以空间相机为平台实验变形镜对离轴三反系统像差的校正。采用干涉仪和平面反射镜测量系统的波像差，采用系统像差响应构建变形镜响应函数，校正后系统波像差由0.122λ降低至0.0896λ，57.2 lp/mm空间频率处的系统传递函数由0.364提升至0.428。实验结果证明了变形镜能够有效地校正系统像差。