mks-mfc-software-user-manual译文1

本文档主要介绍了如何配置计算机的网络设置以与MKS MFC设备进行以太网通信，并通过Web浏览器进行监控和设置。MFC（Mass Flow Controller）是一种用于精确控制气体流量的设备，常应用于科研和工业环境。 为了与MKS MFC设备建立通信，需要在Windows 7操作系统中更改局域网连接属性。步骤包括： 1. 打开控制面板，选择“网络和Internet”。 2. 查看并打开活动网络的局域网连接。 3. 高亮显示“互联网协议版本4 (TCP/IPv4)”，并选择“属性”。 4. 在弹出窗口中，选择“使用以下IP地址”，输入一个唯一的IP地址（例如：192.168.2.2），并设置子网掩码（如：255.255.255.0）。 5. 确认设置，关闭所有窗口。 对于Windows XP系统，步骤类似，只是操作界面略有不同： 1. 打开网络连接页面，右键点击“本地连接”，选择“属性”。 2. 选择“互联网协议 (TCP/IP)”，然后点击“属性”。 3. 输入唯一的IP地址（如：192.168.2.3）和子网掩码（255.255.255.0）。 4. 确认设置，关闭窗口。 配置好IP地址后，计算机就可以与MKS MFC设备进行以太网通信了。 在Web浏览器中，设备页面有三个主要部分： 1. 监视器模式：显示设备的气体设置（选定气体、最小和最大满量程）以及设备设置（型号代码和序列号）。 2. 打印页面：在监视器模式下正常工作，可以打印设备状态。 3. 配置页：提供当前固件版本信息，并可以通过输入密码“配置”并点击“更改设置”按钮进入更高级的访问权限。 在“设置模式”下，用户可以访问和更改设备的各种功能，包括： - 设备选项卡：气体设置部分，描述了MFC当前选择的气体、气体实例以及全量程。 - 创建气体：允许用户创建新的气体表，设置满量程范围，适用于不同气体和气体混合物。 - 单位类型：用户可以选择不同的流量单位，如sccm（标准立方厘米/分钟）或其他单位。 - 客户参考温度：MFC的流量控制基于标准温度和压力条件，用户可以根据实际应用需求设置参考温度。 特别注意，当设备正在进行气体表创建时，不应断电，以免损坏设备。此外，MKS MFC通常使用STP（760托勒和0°C）作为校准参考，但用户可以根据应用需要调整参考温度。 MFC的网络配置和Web浏览器界面提供了方便的远程监控和管理方式，确保用户能灵活地控制和调整气体流量，适应不同的实验或生产环境。