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硅材料的分类与制备.pptx
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第二章
IC
制造材料
固体材料:超导体
:
大于
10
6
(
cm)
-1
导 体
: 10
6
~10
4
(
cm)
-1
半导体
: 10
4
~10
-
1
0
(
cm)
-
1
绝缘体
:
小于
10
-
10
(
cm)
-1
?
什么是半导体
从导电特性和
机制来分:
不同电阻特性
不同输运机制
半导体
掺入某些元素
的微量原子能灵敏
改变其导电性。
温度 、光照、压
力等外界因素会
使其导电能力大
增。
硅的原子最外层
有四个电子,每
个原子和邻近的四
个
原子以共价键结
合,组成一个正
四面体。每个硅原
子
可以看成是四面
体的中心(金刚
石结构)。
金刚石结构
2.1
重要的半导体
材料——硅
用扫描隧道显微镜观察到的硅晶体表面的原子排列
硅材料是当代电子工业中应用最多的半导体材料,它
还是目前可获得的纯度最高的材料之一,其实验室纯度可达
12
个“
9”
的本征级,工业化大生产也能达到
7
~
11
个“
9”
的高纯度。
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