STS8200
硬件手册
(Rev 1.11)
1
目录
1
STS8200系统概述 ...........................................................3
1.1
STS8200系统规格 .......................................................3
1.2
STS8200系统工作环境 ...................................................5
1.3
STS8200 系统电性能指标................................................5
1.4
STS8200系统构成 .......................................................6
1.4.1
PC机 ..............................................................8
1.4.2
总线接口卡.........................................................8
1.4.3 机械手接口卡.......................................................9
1.4.4
探针台接口卡(选配)..............................................18
1.4.5
测试主机..........................................................18
1.4.6
标准测试盒........................................................22
2
STS8200插件箱模块 ........................................................29
2.1
双路电压电流源 DVI400.................................................29
2.1.1
技术指标..........................................................29
2.1.2 原理框图..........................................................30
2.1.3
应用指南..........................................................30
2.2
双路功率电压电流源 PVI10..............................................32
2.2.1
技术指标..........................................................32
2.2.2
原理框图..........................................................33
2.2.3
应用指南..........................................................34
2.3
八路电压电流源 OVI40..................................................37
2.3.1
技术指标..........................................................37
2.3.2
理框图............................................................38
2.3.3
应用指南..........................................................38
2.4
双通道浮动电压电流源模块 FPVI10.......................................41
2.4.1
技术指标..........................................................41
2.4.2
原理框图..........................................................42
2.4.3 应用指南..........................................................43
2.5
八通道浮动电压电流源模块 FOVI100......................................52
2.5.1
技术指标..........................................................52
2.5.2
原理框图..........................................................53
2.5.3
应用指南..........................................................54
2.6
四通道全浮动差分电压表模块 QVM........................................62
2.6.1
技术指标..........................................................62
2.6.2
原理框图..........................................................64
2.6.3
应用指南..........................................................65
2.7
1000V浮动电压电流源 HVI1K.............................................69
2.7.1
技术指标..........................................................69
2.7.2
原理框图..........................................................70
2.7.3
应用指南..........................................................70
2.8
用户板控制模块 CBIT128................................................73
2
2.8.1
技术指标..........................................................73
2.8.2
原理框图..........................................................73
2.8.3
应用指南..........................................................74
2.9
精密交流源表模块 ACSM_PLUS............................................78
2.9.1
技术指标..........................................................78
2.9.2
原理框图..........................................................80
2.9.3
应用指南..........................................................80
2.10
四通道时间测量模块 QTMU_PLUS..........................................84
2.10.1
技术指标..........................................................84
2.10.2
原理框图..........................................................85
2.10.3
应用指南..........................................................85
2.11
数字通道模块 DIO......................................................92
1.1.1
技术指标..........................................................92
2.11.1
原理框图..........................................................93
1.1.2
应用指南..........................................................94
2.12
32路 TRMMING板
TRM...................................................98
2.12.1
技术指标..........................................................98
2.12.2
原理框图..........................................................99
2.12.3
应用指南..........................................................99
附录 A机械手/探针台接口卡信号定义............................................103
附录 B用户 DUT卡插座定义.....................................................104
3
1 STS8200 系统概述
STS8200 是为满足大模小数类芯片测试需求而设计的测试系统,系统以先
进、合理的设计,优良的精度和稳定性,灵活的配置,强大的扩充能力为客户创
造了其它同类系统难以达到的高性价比。
系统的主要特点如下:
l PC 机通过 PCI 总线接口卡控制和管理测试主机。
l Windows 7/XP / 2000 操作系统,C / C++语言编程,人性化设计提供强大
的软件功能和便捷的操作。
l 测试主机采用 19 寸标准机柜,两个 13 槽插件箱可插入多达 26 个硬件模
块。
l 系统提供最大电压为±1000V,电流为±10A。
l 各硬件模块可灵活配置为 1/2/4/8/16 工位工作模式,最大支持 16 工位同步
并行测试。
l 单 PC 支持两测试站乒乓(Station A/Station B)测试,两测试站可乒乓测
试不同品种器件。
l 双 PC 支持 TWIN 工作模式,两测试站可独立测试不同器件品种。
l 长达 3.5 米的输出电缆连接用户板(Dut Board),四线开尔文连接方式及
屏蔽措施保证被测器件端的测试精度和稳定性。
l 支持多种机械手、探针台工作。
1.1 STS8200 系统规格
STS8200 主要由两部分组成,分别为测试主机和电脑(包括电脑支架),在
不同的工作模式下系统规格有所不同。
STS8200 单测试站及乒乓测试模式系统规格:
l 系统净重:100kg
l 系统尺寸:见图 1- 1。
4
图 1- 1 STS8200 尺寸图
STS8200 TWIN 测试工作模式系统规格:
l 系统净重:115kg
l 系统尺寸:见图 1- 2。