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河
河
北
北
科
科
技
技
大
大
学
学
装
装
控
控
系
系
二
二
、
、
微
微
反
反
应
应
器
器
的
的
加
加
工
工
技
技
术
术
微反应器材料的选择取决于介质的腐蚀性能、操作温度、操作压力、加工方
法等。常用的材料有:
硅:硅的密度小(2.3 g/cm
3
);熔点高(1400℃),约为铝的两倍;热膨胀
系数小,只有铝的十分之一;单晶硅的屈服强度比不锈钢大三倍;硅具有各
向异性,便于进行选择性刻蚀。
不锈钢:具有良好的延展性,加工方便,成本低廉,且易与外部连接。多用
在一些强放热的多相催化微反应器中。
玻璃:化学性能稳定,且具有良好的生物兼容性, 制作的微反应器还有利
于观察内部反应。
陶瓷:化学性能稳定,抗腐蚀能力强,熔点高,在高温下仍能保持尺寸的稳
定,故常用于高温和强腐蚀的场合, 缺点是耗费时间长,价格昂贵。
塑料和聚合物等材料:易于光刻电镀和压模成型加工。
8.3 微反应器
8.3.2
8.3.2
微
微
反
反
应
应
器
器
的
的
结
结
构
构
及
及
制
制
造
造
工
工
艺
艺
8.3 微反应器
8.3.2
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微
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反
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应
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器
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的
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构
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及
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制
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造
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工
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艺
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