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X射线光电子能谱分析.ppt
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X射线光电子能谱分析.ppt
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如题
X
射线光电子能谱分析
X-ray Photoelectron Spectroscopy
表面分析技术
(Surface Analysis)
是对材料外层
(the
Outer-Most Layers of Materials (<100nm))
的研究的
技术
X-ray
Beam
X-ray Beam
X-ray
penetration
X-ray penetration
depth
~1
depth ~1
m
m
m.
m.
Electrons
can
be
Electrons can be
excited
in
this
excited in this
entire
volume.
entire volume.
X-ray
excitation
area
~1x1
cm
X-ray excitation area ~1x1 cm
2
2
.
Electrons
. Electrons
are
emitted
from
this
entire
area
are emitted from this entire area
Electrons
are
extracted
Electrons are extracted
only
from
a
narrow
solid
only from a narrow solid
angle.
angle.
1
1
mm
mm
2
2
10
10
nm
nm
主
主
要
要
内
内
容
容
XPS
的基本原理
光电子能谱仪实验技术
X
射线光电子能谱的应用
7.1
XPS
7.1 XPS
的
的
基
基
本
本
原
原
理
理
XPS
是由瑞典
Uppsala
大学的
K. Siegbahn
及其同事历经近
20
年的潜心研究于
60
年代中期研制开发出的一种新型表面分析仪器和方法。鉴于
K. Siegbahn
教授对
发展
XPS
领域做出的重大贡献,他被授予
1981
年诺贝尔物理学奖
。
XPS
现象基于爱因斯坦于
1905
年揭示的光电效应,爱因斯坦由于这方面的工作被
授予
1921
年诺贝尔物理学奖
;
X
射线是由德国物理学家伦琴(
Wilhelm Conrad Röntgen
,
l845-1923
)于
1895
年发现的,他由此获得了
1901
年首届诺贝尔物理学奖
。
X
射线光电子能谱
(
XPS
,
全称为
X
-
ray
P
hotoelectron
S
pectroscopy
)
是一
种基于
光电效应
的电子能谱,它是利
用X射线光子激发出物质表面原子的内
层电子,通过对这些电子进行能量分
析而获得的一种能谱。
这种能谱最初是被用来进行化学分析
,因此它还有一个名称,即化学分析
电子能谱
(
ESCA
,
全称为
E
lectron
S
pectroscopy for
C
hemical
A
nalysis
)
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