晶圆传输机器人振动分析与轨迹控制.docx
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2023-09-07
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- I -
目 录
第 1 部分 模型验证与评估..........................................................................................1
1.1 初始条件确定 .....................................................................................................1
1.2 MATLAB 算法实现 ............................................................................................2
1.3 ADAMS 仿真.......................................................................................................6
第 2 部分 振动分析与轨迹控制................................................................................11
2.1 振动分析 ...........................................................................................................11
2.1.1 机器人结构对振动影响............................................................................11
2.1.2 电机运动对振动的影响............................................................................11
2.2 轨迹控制 ...........................................................................................................16
2.2.1 引言............................................................................................................16
2.2.2 无插补运动程序........................................................................................16
2.2.3 定步长插补运动程序................................................................................20
2.2.4 定时插补运动程序....................................................................................26
第 3 部分 实验验证....................................................................................................34
3.1 实验系统搭建 ...................................................................................................34
3.1.1 硬件连接....................................................................................................34
3.1.2 软件程序....................................................................................................35
3.2 实验原始数据 ...................................................................................................85
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