叠层芯片封装技术,简称 3D 封装,是指在不改变封装体尺寸的前提下,在
同一个封装体内于垂直方向叠放两个以上芯片的封装技术,它起源于快闪存
储 - 器 (NOIUNAND) 及 SDRAM 的叠层封装。
3D 封装
填埋型即将元器件填埋在基板多层布线内或填埋、制作在基板内部。
有源基板型是用硅圆片集成 ( wafer scale integra-tion, WSI) 技术做基板
时 , 先采用一般半导体 IC 制作方法作一次元器件集成化 , 形成有源基板 ,
然后再实施多层布线 , 顶层再安装各种其他 IC 芯片或元器件 , 实现 3D 封
装。这一方法是人们最终追求并力求实现的一种 3D 封装方法。
叠层型是将两个或多个裸芯片或封装芯片在垂直芯片方向上互连形成 3D 结
构。
3D 封装形式
TSV 技术简介
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