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会计学
1
掺杂技术
第
5
章 掺杂工艺
5.1
概述
5.2
扩散
5.3
离子注入掺杂
5.4
掺杂质量评价
5.5
实训 扩散工艺规程
第
1
页
/
共
35
页
5.1
概述
掺杂是指将需要的杂
质掺入到特定的半导
体区域中,以达到改
变半导体电学性质,
形成
PN
结、
电阻、欧姆接触的目的
。
扩散和离子注入
第
2
页
/
共
35
页
5.1
概述
Ⅲ
A
族受主掺质
(P
型
)
Ⅳ
A
族半导体
Ⅴ
A
族施体掺质
(N
型
)
元素
原子量
元素
原子量
元素
原子量
硼
5
碳
6
氮
7
铝
13
硅
14
磷
15
镓
31
锗
32
砷
33
铟
49
锡
50
锑
51
第
3
页
/
共
35
页
5.2
扩散
扩散技术目的在于控制半导体中特定区域内杂质的类型、浓度、
深度和
PN
结。在集成电路发展初期是半导体器件生产的主要技
术之一。但随着离子注入的出现,扩散工艺在制备浅结、低浓度
掺杂和控制精度等方面的巨大劣势日益突出,在制造技术中的使
用已大大降低。
间隙式扩散
替位式扩散
推填式扩散
第
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