EBL基本组成及工作原理PPT教案.pptx
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EBL 基本组成及工作原理 EBL(Electron Beam Lithography,电子束光刻)是一种高精度的微fabrication技术,广泛应用于微电子、生物医学、纳米技术等领域。下面是对EBL基本组成及工作原理的详细介绍。 一、电子束曝光系统结构 EBL系统主要由电子源、电子光学系统、 specimen 台和检测系统四部分组成。电子源是EBL系统的核心组件,负责产生高能电子束。电子光学系统负责将电子束聚焦于specimen台上,specimen台上承载着要曝光的材料,检测系统则负责检测电子束的强度和分布。 二、电子源分类 电子源可以分为四类:直热式、热发射、旁热式和场发射电子源。每种电子源都有其特点和优缺,例如热发射电子源具有高亮度和高能电子束,但也存在聚焦斑束大和电子束能量分布不均的问题。EBL系统通常选择热场致发射源,原因是热场致发射源具有高稳定性和高亮度。 三、二次电子探测器 二次电子探测器是EBL系统中的重要组件,负责检测电子束的强度和分布。常见的二次电子探测器有SE2探测器、In lens探测器和BSE探测器,每种探测器都有其特点和应用场景。 四、EBL性能参数 EBL系统的性能参数包括电子束能量、电子束当前、工作距离等。不同的EBL系统都有其特点和参数,例如某些EBL系统具有高电子束能量和高精度,而某些系统则具有高工作距离和高 throughput。 五、坐标系的对准 坐标系的对准是EBL系统中的重要步骤,涉及到坐标系的建立、电子束的对准和specimen台的对准。不同的坐标系对准方法都有其特点和优缺,例如某些方法具有高精度和高速度,而某些方法则具有高灵活性和高适应性。 EBL基本组成及工作原理是微fabrication技术的核心组件,广泛应用于微电子、生物医学、纳米技术等领域。理解EBL基本组成及工作原理对于微fabrication技术的发展和应用具有重要意义。
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