现代精密仪器

本书为高等工科院校“精密仪器设计”课教材，对与精密仪器设计有关的基本理论和方法及微型机电系统作了较全面系统的论述，荟萃了现代精密仪器的有关资料和科研成果，反映了该学科领域的当代发展水平。