云计算-低气压氩射频感应放电计算模型的探讨.pdf
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2022-06-29
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引言
对射频（ＲＦ）感应放电（即感应耦合等离子体ＩＯＰ）的机理的研究工作从其被
发现【啦！以来已经持续了一个多世纪的时间。由于其特有的性质，这种放电等离
子体在很多领域中都得到了广泛应用。在不同的应用当中，射频感痤耦合放电的
条件可以有很大的不同，尤其是放电的气压，可以从几ｒｅＴｏｒｔ到几个大气压。高
气压射频感应放电产生的是接近平衡态的等离子体【引。对高气压感应放电较早就
有了比较深入的研究【４４】，这种放电在光谱化学分析、等离子体辅助化学合成和
晶体生长等领域得到了广泛应用。低气压感应放电产生的是非热平衡等离子体，
这种等离子体已被用作粒子加速器离子源和空间推动器【８】。低气压射频感应放电
在近十几年又得到了科研人员更多的青睐，这主要是因为这种放电在照明业【９，如Ｊ
和等离子体辅助加工【“ｌ等领域呈现出很多新的优点。采用射频感应放电的无极放
电灯，其长寿命高效率的特点已使这种新型光源得到了日益广泛的应用。由于在
较低的气压下能够提供较大的等离子体浓度，同时等离子体的产生和离子能量的
能够分别控制，并可根据需要设计成大面积高均匀性的等离子体源，低气压射频
感应放电在材料处理和高科技微加工等领域中拥有非常广阔的应用前景。正是当
前低气压射频放电在诸多领域越来越广泛的应用，使得对这种放电现象的机理研
究越来越深入和广泛。
本文的工作将着重于低气压射频感应放电等离子体的模型的探讨。
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