资料来源：techcet，产业信息网，金宏气体招股说明书，方正证券研究所整理
投资要点
l 电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电
路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量
息息相关。
l 市场规模和结构：根据techcet，2020年全球电子气体市场规模约为58.5亿美元，其中电子特气的市
场规模为41.9亿美元，占比71.6%。以海外龙头林德集团（含普莱克斯）、空气化工、液化空气和日
本酸素为首的气体公司占有全球 90%以上的电子特种气体市场份额。因半导体产业对气体质量、供应
的特殊要求，中国半导体企业生产工艺中所使用的电子气体亦被海外龙头所垄断。随着未来疫情的缓
解、能源革命与计算革命带动的半导体行业景气持续，预计2025年全球电子气体市场规模将超过80亿
美元，年复合增速预计达到6.5%。
l 行业壁垒和国内电子特气现状：电子特气对气源和供应系统有着苛刻的要求，属于典型的技术密集型行
业。技术工艺、设备资质、客户认证、市场服务共同构成了电子特气的四大行业壁垒。其中，气体纯化
和气体精度是气体制造的两大技术壁垒。目前IC用特气，中国仅能生产约 20%的品种，主要集中在IC
的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少部分品种取得突破。
l 中国电子特气行业趋势：纵观工业气体百余年历史，气体纯度提升、品类增多、气体公司兼并收购贯穿
其中。我们认为，国产特气未来的五大趋势分别为品类扩充、高端突破、专业分工明确、尾气回收扩
大、气体企业整合提速。对于当前半导体上游供应链，国产替代已成为业界共识，当前电子气体国产化
率不足15%，基于自主可控的供应链安全，随着下游Fab厂的加速认证，我们认为未来国产化率将显著
提高。
l 电子特气投资机会来自电子气体产业链的国产替代，建议关注相关产业链标的：
p 电子气体供应商标的：华特气体、金宏气体、雅克科技、凯美特气、昊华科技、南大光电、派瑞特气、
杭氧股份、和远气体、正帆科技、巨化股份、绿菱公司等
p 电子气体设备供应商标的：华特气体、杭氧股份、中船重工718所、正帆科技等
中国工业气体发展五大看点
本土企业市占率低
国产替代势在必行
分工明确、品类扩充，气体企业整合提速
产品集中低端市场
高端突破空间广阔
循环经济绿色发展，尾气回收占比扩大
下游行业景气持续
需求旺盛促进发展
随着未来疫情的缓解、能源革命与计算
革命带动的半导体行业景气持续，预计
2025年全球电子气体市场规模将超80亿
美元，年复合增速6.5%。
随着气体需求的多样性、特殊性、复杂性要求不断提高，部分国内企业将
通过兼并收购逐步占领更多市场份额，提高企业竞争力。
未来废气回收模式将会加快速度发展，占工业气体产量的比重将逐年提升。
在高端气体尤其是特气方面，我国差距比较
明显，产品几乎都被外资企业所垄断。未来
我国气体行业亟需通过自主创新，增加产品
种类，提高国产化率，以早日解决缺“气”
的瓶颈和制约。
华特气体在国内整体特气市场市占率为
0.44%，金宏气体占0.43%，雅克科技
占0.29%，而海外企业占比超85%，中
国企业在工业气体行业占市率低。
资料来源：凤凰新闻， techcet，金宏气体招股说明书，中国电子化工新材料产业联盟，方正证券研究所整理
