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Design, Fabrication and Evaluation of a MEMS-Based,
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2010-07-17
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17页
IEEE上的 Design, Fabrication and Evaluation of a MEMS-Based, Ka-Band, 16-Element Sub-Array
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- smilingtoyou2012-10-01讲MEMS设计和工艺方面的,感觉不错
kapioyang
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