TFT-LCD彩膜工艺宏观缺陷自动化修补的探究.pdf

TFT-LCD彩膜工艺是液晶显示器生产的关键步骤之一，其宏观缺陷的自动化修补是提升产品质量和降低生产成本的重要途径。本文主要探讨了如何通过自动化技术解决TFT-LCD彩膜（CF）工艺中出现的宏观缺陷，尤其是竖线Mura问题。 目前，TFT-LCD彩膜基板一旦出现宏观缺陷，如膜厚超出规格（Spec），对应的Panel就会被判定为不合格品（NG）。这种情况导致了大量的Panel浪费。其中，竖线Mura是最常见的缺陷类型，约占所有宏观缺陷的60%以上。竖线Mura的产生主要是由于涂布机喷嘴堵塞导致的局部膜厚差异，这在Mura图像上表现为颜色异常。 为解决这一问题，文章提出了一个创新的自动化修复系统，该系统包括三个关键单元： 1. 探针感知单元：这个单元通过探测器检测竖线区域的膜厚，判断是过薄还是过厚，从而决定采用何种修复策略。 2. 竖线处理单元：针对膜厚异常的竖线，该单元会进行相应的增减膜处理，使竖线特性回归到规格范围内。 3. 图像对比单元：通过灰度差对比判断竖线是否超规格，需要修补；在修补后，再次对比灰度值，确保其在规格内。 具体实施过程中，首先需要建立基础数据库，收集达到规格值的竖线Mura样本，通过灰度差比较算法计算出灰度差参考值。然后，在实际生产中，当检测到竖线Mura时，测量其灰度差并与规格值比较，若超过规格，则通过竖线处理单元进行修复，最后由图像对比单元确认修复效果。 这种自动化修复系统的应用可以显著提高CF基板的合格率，减少生产成本，并实现宏缺陷的自动化处理，从而提升整个TFT-LCD行业的生产效率和产品质量。同时，这种智能系统的开发也体现了自动化和智能技术在现代制造业中的重要性，对于推动产业升级和技术进步具有积极意义。