【标题与描述解析】: 标题提到的"富士通推出ASIC和半导体代工业务用统计性时序分析系统"指的是富士通公司发布了一款专为应用特定集成电路(ASIC)和半导体代工业务设计的统计时序分析工具。这个系统旨在帮助设计者更有效地进行时序优化,降低设计时间和成本。 描述部分进一步指出,这项技术是首次面向ASIC和COT(customer owned tooling,即半导体代工业务)用户提供,采用统计性时序分析,能够减少设计余量,提高芯片的工作速度,缩短时序优化的时间,并且可以考虑到晶体管制造过程中的误差。 【主要内容详解】: 文章内容首先讨论了半导体制造中的光阻去除工艺,这是一个关键步骤,但由于涉及多个复杂步骤,成本高且容易造成硅片损耗,影响晶体管性能。传统的光阻去除工艺包括光阻重修、蚀刻、植入后光阻去除等,这些步骤可能导致硅片的氧化和累积损失。 富士通提出了一种全湿式化学方法,特别是硫酸清洗工艺,可以替代等离子光阻去除,减少了工艺步骤,降低了硅片损失,从而提升了晶体管性能。这种方法已经在单反应室R&D设备上得到验证,并预计在多反应室量产设备上会有更大进步。单晶圆设备的优势在于更好的缺陷控制、工艺控制和耗材利用率,能有效减少杂质转移、提高均匀性和减少基材损失。 接下来,文章着重介绍了富士通的统计性时序分析系统。这一系统扩展了现有的静态时序分析(STA),针对传统STA中无法满足时序要求的关键路径,使用统计性时序分析工具(SSTA)进行二次分析。SSTA可以考虑到晶体管制造过程中的误差,减少不必要的设计余量,从而提升芯片工作速度,降低优化时间。在90纳米工艺芯片中,可以实现约6%的工作速度提升,并减少约30%的时序优化工时。 此外,SSTA还被应用于微处理器设计中的成品率预测,确保在不同速度等级的产品中都能保持适当的性能和可靠性。对于用户关心的品质和成品率,富士通表示使用SSTA不会产生负面影响。 总结来说,富士通的统计性时序分析系统是半导体设计领域的一个创新,它通过优化设计流程,减少冗余设计余量,提高了芯片性能和生产效率,对于ASIC和半导体代工行业具有重要的实际应用价值。这一技术的引入,不仅可以降低成本,还能提升产品质量,为半导体制造带来了新的可能性。
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