《SLC500系列PLC在半导体洁净厂房控制中的应用》
文章主要探讨了SLC500系列可编程逻辑控制器(PLC)在半导体洁净厂房控制系统中的具体应用,着重介绍了暖通空调(HVAC)系统控制以及SLC500冗余系统的原理。
SLC500是罗克韦尔自动化公司的一款经典中小型框架式PLC,以其强大的处理能力、灵活的通讯网络选择、可扩展的功能模块和存储容量,以及高度的稳定性和性价比,在洁净厂房控制领域得到了广泛应用。其稳定可靠的性能对于保证半导体洁净厂房的环境控制至关重要。
半导体洁净厂房的BMS(Building Management System)系统主要负责监控和控制洁净室、动力厂房、仓库和办公楼等多个区域的环境参数。其中,HVAC系统是核心部分,它通过空调机组、调节阀、风机和泵等设备,维持洁净室、办公区和仓库的温度、湿度、露点和压力等条件,以满足半导体生产对环境的高度要求。
文章提到了具体的工艺流程,如冷冻水系统为工艺冷却和HVAC提供低温冷冻水,锅炉和热回收系统供应热水。此外,还有排风系统、压缩空气系统、真空系统、工业水系统、纯水系统、废水系统和应急燃油发电系统等多个子系统,这些子系统的风机和泵通常采用变频器进行节能控制。
在自动控制系统的设计中,BMS系统整体结构包括实时数据监控、设备控制与参数设定、设备故障诊断与报警等功能。通过GPRS modem,可以将报警信息发送至相关人员的移动电话,实现远程监控。系统操作分为就地控制和远程控制两种模式,远程模式下设备可以处于自动或手动控制状态,由BMS根据逻辑和现场条件自动启停,确保生产环境的精确控制。
综上所述,SLC500系列PLC在半导体洁净厂房控制中起到了关键作用,通过智能化的控制系统,实现了对生产环境的高度精细化管理,确保了半导体制造的高质量和高效率。